Глубокая очистка тетрахлорида кремния методом ректификации

Глубокая очистка тетрахлорида кремния методом ректификации на сайте seo-diary.ru



Физико -химические основы глубокой очистки летучих неорганических гидридов методом ректификации при повышенном давлении. 2007 г. С. 83. 48. Мочалов Г.М., Суворов С.С., Шаров А.Ю. и др. Кинетика глубокой очистки тетрахлорида кремния методом...

-очистка моносилана кремния ректификацией (остаточное. принципиальная технологическая схема получения поликристаллического кремния из тетрахлорида, применяемая фирмой Radyne ltd. Очистка производится химическими способами, методом глубокого охлаждения...

Гидрирование тетрахлорида кремния (ТХК) проводят в реакторах с После получения силана методом ректификации удаляются все оставшиеся загрязнения. На стадии сублимации-десублимации осуществляется глубокая очистка гексафторосиликата аммония от примесей.

2. Разработана оригинальная методика ректификационного выделения дихлорсилана из реакционной смеси хлорсиланов. Мочалов Г.М., Суворов С.С., Шаров А.Ю. и др. Кинетика глубокой очистки тетрахлорида кремния методом ректификации на колонне со средним...

Процесс синтеза трихлорсилана сопровождается побочными реакциями образования тетрахлорида кремния и других хлорсиланов, а Наиболее эффективным методом очистки является ректификация, однако осуществить полную и глубокую очистку от примесей...

Кинетика глубокой очистки тетрахлорида кремния методом ректификации на колонне со... Более глубокая очистка тетрахлорида кремния достигается адсорбционными методами.

4 «4М целью глубокой очистки тетрахлорида кремния, полученного из продуктов хлорирования циркона, исходный продукт предварительно выпаривают при 100 вЂ" 120 С, а ректификацию проводят в три стадии: при 54-134 С, 52-56 С, и.

93 %. Технический тетрахлорид очищают от примесей методом ректификации. Рассмотрим процесс разделения ректификацией тетрахлоридов титана и кремния, из которых SiCl4 более летуч.

Указанная задача решается тем, что предложен способ глубокой очистки трихлорсилана, полученного гидрохлорированием технического кремния, от высококипящих соединений, включая метилдихлорсилан, путем ректификации, заключающийся в том...

Процесс синтеза трихлорсилана сопровождается побочными реакциями образования тетрахлорида кремния и других хлорсила-нов, а Наиболее эффективным методом очистки является ректификация, однако осуществить полную и глубокую очистку от примесей...
Кадры из ролика : Технология получения монокристаллического Si - Информация...